包括两套不同结构的气浮转台图纸STP格式,赠送大量技术资料,对深入了解气浮的设计十分有价值!
气浮转台(也叫空气静压转台)的核心逻辑,就是用高压空气在转子和定子之间形成一层极薄的、均匀的空气膜(气膜),完全替代传统机械轴承的接触摩擦,实现近乎零摩擦的回转运动。
工作流程是:
供气环节:外部压缩空气经过滤、稳压后,以稳定压力(如 0.7MPa)送入转台的定子气道。
气膜形成:高压空气通过定子上的节流孔(微小喷嘴)喷出,在定子与转子的间隙(通常几微米到十几微米)中形成高压气垫,将转子完全 “悬浮” 起来,不与任何部件接触。
无摩擦回转:转子由无框力矩电机直接驱动,因为没有机械接触,摩擦力几乎为零,也没有磨损、发热、振动等问题,因此能实现极高的回转精度。
真空吸附(可选):像 ARS5000-V 这类半导体用转台,还会集成真空回路,通过转台中心的吸盘提供负压,吸附晶圆 / 工件,同样不影响气膜的稳定性。
高精度气浮轴承采用空气静压轴承技术,实现无摩擦回转,径向与轴向回转精度均优于 200nm,是半导体晶圆检测、光刻等超高精度场景的理想选择。
高性能电控系统搭载无框力矩电机,大幅降低齿槽效应;搭配非接触式圆光栅编码器,最高 65536 线 / 转,支持 etherCAT 等多种通信协议,响应速度与控制精度拉满。
可配置真空吸盘自带真空吸盘接口,无需额外转接接头即可提供负压吸附,不影响轴承回转精度。可提供 6/8 寸陶瓷或铝合金吸盘,平面度可达 2μm 以下。
稳定交付保障完全自主的超精密加工技术,搭配全可控的生产装配与检测能力,确保性能一致性与稳定交付。
它专为半导体行业设计,是半导体设备同轴轴的核心部件,可用于:
晶圆检测 / 量测设备
光学镜头测试与校准
高精度激光加工
微纳级表面检测系统
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