图纸可以编辑有参数，包含3D图/2D图、BOM,对于研究晶圆搬运机器人的十分有价值！结构很详细，每一个细节都有，包括额外赠送一台晶圆干燥模块（STP)）
晶圆双臂搬运机器人是半导体制造中用于超净环境下高精度、高效率传输晶圆的核心设备，核心价值在于双臂并行、高效交换、亚微米级精度、高洁净度，广泛用于 EFEM、真空 / 大气制程与先进封装。
构型：多为圆柱坐标（4–5 轴），双独立手臂 + 旋转基座 + 升降 Z 轴，部分带翻转轴（θ）。
双臂协作：一臂取、一臂放，同步交换，单周期可缩至2.8–4 秒，效率较单臂提升20%+。
驱动与控制：伺服电机 +绝对式编码器，重复定位精度 **±0.02 mm（±5 μm）；振动抑制算法使晶圆摆动<±0.1 mm**。
末端执行器：真空吸附、边缘夹持、伯努利非接触、下托式；材质可选碳纤维、陶瓷、铝合金。
高洁净度：ISO 1–5 级（Class 1–100），低发尘 / 低析气材料，微粒控制 **<0.01 μm**。
高精度：亚微米级对位，超薄 / 翘曲晶圆适配，破片率 **<0.01%**。
高效率：双臂双片同取放，兼容2–12 英寸（含 300 mm）晶圆。
高可靠：MTBF >15,000 小时，2000 小时耐久偏移 **<0.1 mm**。
环境适配：大气（EFEM）/ 真空（刻蚀、沉积）双版本，耐温 / 耐化学腐蚀。
前道制程：光刻、刻蚀、薄膜沉积、检测设备间传输。
EFEM：晶圆盒（FOUP）与工艺设备间自动上下料。
先进封装：2.5D/3D 封装、TSV、倒装焊的精密搬运与对位。
特殊晶圆：超薄（<50 μm）、翘曲、大尺寸（450 mm）晶圆 handling。
| # | 文件名称 | 大小 |
|---|---|---|
| 1 | 
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/D20203-00-000 ROBOT.SLDASM
|
4.53M |
| 2 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/D20203-00-000.SLDASM
|
28.72M |
| 3 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/D20203-BOM表R.xlsx
|
21.54K |
| 4 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/robot夹持/L330上安装板.SLDPRT
|
422.86K |
| 5 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/robot夹持/LR2______-1.SLDASM
|
40.8K |
| 6 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/robot夹持/Lsunqiang-R2________.SLDASM
|
42.65K |
| 7 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/robot夹持/Lsunqiang-____-51.SLDPRT
|
1.04M |
| 8 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/robot夹持/Lsunqiang-____-53.SLDPRT
|
1.33M |
| 9 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/robot夹持/Lsunqiang-____.SLDPRT
|
1.27M |
| 10 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/robot夹持/Lsunqiang-__________.SLDPRT
|
595.48K |
| 11 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/robot夹持/Robot-217-000711-000-1.SLDASM
|
281.4K |
| 12 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/robot夹持/Robot-300-001023-000.SLDPRT
|
20.11K |
| 13 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/robot夹持/Robot-300-002329-000.SLDPRT
|
28.36K |
| 14 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/robot夹持/Robot-300-002330-000.SLDPRT
|
28.71K |
| 15 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/robot夹持/Robot-350-000236-000.SLDPRT
|
33.04K |
| 16 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/robot夹持/Robot-350-000237-400.SLDPRT
|
23.41K |
| 17 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/robot夹持/Robot-350-000269-001.SLDPRT
|
21.05K |
| 18 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/robot夹持/Robot-350-000271-400.SLDPRT
|
22.55K |
| 19 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/robot夹持/Robot-400-001438-000.SLDPRT
|
21.03K |
| 20 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/robot夹持/Robot-450-000350-023.SLDPRT
|
48.96K |
| 21 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/robot夹持/Robot-601-011010-001.SLDPRT
|
24.66K |
| 22 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/robot夹持/Robot-601-011010-003.SLDPRT
|
24.8K |
| 23 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/robot夹持/Robot-Wafer_12.SLDPRT
|
28.57K |
| 24 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/robot夹持/单片干燥转台.SLDPRT
|
39.14M |
| 25 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/robot夹持/手指 Lsunqiang.SLDPRT
|
1001.6K |
| 26 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/升降座部/D20203-C000-1.SLDASM
|
1.31M |
| 27 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/升降座部/D20203-C000-2.SLDASM
|
663.29K |
| 28 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/升降座部/D20203-C01-(边板左).SLDPRT
|
184.43K |
| 29 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/升降座部/D20203-C02-(边板右).SLDPRT
|
184.15K |
| 30 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/升降座部/D20203-C03-(底座板).SLDPRT
|
332.56K |
| 31 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/升降座部/D20203-C04-(上顶板).SLDPRT
|
233.78K |
| 32 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/升降座部/D20203-C05-(升降柱).SLDPRT
|
89.67K |
| 33 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/升降座部/D20203-C06-(电机座).SLDPRT
|
211.92K |
| 34 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/升降座部/D20203-C07-(推杆柱).SLDPRT
|
161.66K |
| 35 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/升降座部/D20203-C08-(升降台).SLDPRT
|
386.96K |
| 36 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/升降座部/D20203-C09-(滑块件).SLDPRT
|
157.22K |
| 37 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/升降座部/D20203-C10-(推杆盖).SLDPRT
|
182.89K |
| 38 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/升降座部/D20203-C11-(电缸座).SLDPRT
|
157.61K |
| 39 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/升降座部/D20203-C12-(下挡块).SLDPRT
|
108.15K |
| 40 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/升降座部/D20203-C13-(上挡块）.SLDPRT
|
112.54K |
| 41 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/升降座部/D20203-C14-(原点架).SLDPRT
|
96.6K |
| 42 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/升降座部/D20203-C15-(固线板).SLDPRT
|
128.27K |
| 43 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/升降座部/D20203-C16-(拖链架).SLDPRT
|
155.56K |
| 44 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/升降座部/D20203-C17-(原点片).SLDPRT
|
73.48K |
| 45 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/升降座部/D20203-C18-(防尘圈).SLDPRT
|
144.39K |
| 46 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/升降座部/D20203-C19-(限位块).SLDPRT
|
71.5K |
| 47 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/升降座部/D20203-C20-(R-30X60型材).SLDPRT
|
133.08K |
| 48 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/升降座部/D20203-C21-(外罩板).SLDPRT
|
86.46K |
| 49 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/升降座部/D20203-C22-(出线部外罩板).SLDPRT
|
105.99K |
| 50 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/升降座部/D20203-C23-(底座无法兰).SLDPRT
|
290.01K |
| 51 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/升降座部/D20203-C24-(上顶板法兰).SLDPRT
|
298.95K |
| 52 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/单片干燥转台.SLDPRT
|
39.14M |
| 53 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/旋转台部/D20203-T000-1.SLDASM
|
472.45K |
| 54 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/旋转台部/D20203-T01-(L32Z轮).SLDPRT
|
414.03K |
| 55 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/旋转台部/D20203-T02-(旋转盘).SLDPRT
|
375.26K |
| 56 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/旋转台部/D20203-T03-(转盘座).SLDPRT
|
266.16K |
| 57 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/旋转台部/D20203-T04-(电机座).SLDPRT
|
151.61K |
| 58 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/旋转台部/D20203-T05-(限位块).SLDPRT
|
102.75K |
| 59 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/BGSPM8-11-L14轴柱螺栓.SLDPRT
|
111.05K |
| 60 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/CKD-AX6003MU_DM04-U0（基准05）/AX6000M系列(0.9MB).pdf
|
851.96K |
| 61 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/CKD-AX6003MU_DM04-U0（基准05）/AX6003MU_定子.SLDPRT
|
170.27K |
| 62 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/CKD-AX6003MU_DM04-U0（基准05）/AX6003MU_转子.SLDPRT
|
124.29K |
| 63 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/EE_SX772_Solidworks/ee-sx77_87_ds_c_7_3.pdf
|
1.93M |
| 64 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/EE_SX772_Solidworks/EE_SX772.SLDPRT
|
79.76K |
| 65 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/EE_SX952_R_Solidworks/ee-sx95_sceb-cn5-076_3_3.pdf
|
876.67K |
| 66 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/EE_SX952_R_Solidworks/EE_SX952_R.SLDPRT
|
90.38K |
| 67 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/EE_SX953_R_Solidworks/EE_SX953_R.SLDPRT
|
76.82K |
| 68 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/FL608ZZ轴承.SLDPRT
|
132.17K |
| 69 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/HIWIN-导轨QWH27CA1R580ZOPII/QWH27C__X2_53F35C01_X0__temp.sldprt
|
497.32K |
| 70 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/HIWIN-导轨QWH27CA1R580ZOPII/QWR27_temp-1.sldprt
|
338.89K |
| 71 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/KQ2L23_M5A.sldprt
|
136.31K |
| 72 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/M_5HL_4.sldprt
|
117.88K |
| 73 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/NKXZ17轴承.SLDPRT
|
239.74K |
| 74 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/NSK-MPS3030KN002（基准8）/MPS3030KN-定子.sldprt
|
242.48K |
| 75 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/NSK-MPS3030KN002（基准8）/MPS3030KN-转子.sldprt
|
154.8K |
| 76 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/NSK-MPS3030KN002（基准8）/NSK-CH3513b.pdf
|
4.49M |
| 77 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/SB6703ZZ轴承.SLDPRT
|
150.24K |
| 78 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/SMC-伺服电缸LEYH32S3C400B000（185）/SMC-电动执行器LEY.pdf
|
10.14M |
| 79 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/SMC-伺服电缸LEYH32S3C400B000（185）/_LEY32S3C_B_0__MOTOR_6.sldprt
|
316.39K |
| 80 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/SMC-伺服电缸LEYH32S3C400B000（185）/_LEY32S3_400_0__ROD_4.sldprt
|
80.71K |
| 81 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/SMC-伺服电缸LEYH32S3C400B000（185）/_LEY32_400_0__BODY_2.sldprt
|
177.51K |
| 82 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/SMC-缓冲器RJ1007H0/_RB10J_RJ_4.sldprt
|
103.5K |
| 83 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/SMC-缓冲器RJ1007H0/_RJ1007_0__BODY_2.sldprt
|
88.19K |
| 84 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/外径8线径1-5硅胶圈.SLDPRT
|
195.91K |
| 85 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/大臂皮带.SLDPRT
|
85.22K |
| 86 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/小臂皮带.SLDPRT
|
80.65K |
| 87 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/松下压力传感器DP-0/DP-0装配.SLDASM
|
93.84K |
| 88 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/松下压力传感器DP-0/MS-DP1-2(frontpanel-mount-braket).SLDPRT
|
63.37K |
| 89 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/松下压力传感器DP-0/ms-dp1-8(rearpanel-mount-braket)_step.SLDPRT
|
98.39K |
| 90 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/松下压力传感器DP-0/松下压力传感器dp-001_step.SLDPRT
|
84.42K |
| 91 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/松下压力传感器DP-0/松下压力传感器dp-0_c_cata.pdf
|
1.38M |
| 92 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/皮带.DWG
|
145.42K |
| 93 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/米思米-拖链SKG310-20-015/2019_07_24__02-56-47-577.sldprt
|
330.5K |
| 94 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/米思米-拖链SKG310-20-015/2019_07_24__02-56-47-577_3.sldprt
|
92.1K |
| 95 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/米思米-拖链SKG310-20-015/2019_07_24__02-56-47-577_5.sldprt
|
117.61K |
| 96 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/米思米-拖链SKG310-20-015/2019_07_24__02-56-47-577_8.sldprt
|
79.76K |
| 97 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/米思米-拖链SKG310-20-015/SKG310-20-015拖链装配.SLDASM
|
214.88K |
| 98 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/防水接头M20/主体-夹紧爪.SLDPRT
|
846.67K |
| 99 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/防水接头M20/夹紧圈.SLDPRT
|
145.66K |
| 100 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/防水接头M20/螺母.SLDPRT
|
486.75K |
| 101 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/防水接头M20/装配体3.SLDASM
|
1.52M |
| 102 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/防水接头M20/迫紧头.SLDPRT
|
533.24K |
| 103 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/防水接头M20/防水圈.SLDPRT
|
196.41K |
| 104 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/防水接头M20/防水接头M20.SLDASM
|
711.14K |
| 105 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部/D20203-F000-1.SLDASM
|
586.47K |
| 106 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部/D20203-F000-2.SLDASM
|
660.23K |
| 107 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部/D20203-F000-3.SLDASM
|
430.58K |
| 108 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部/D20203-F000-4.SLDASM
|
455.23K |
| 109 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部/D20203-F000-5.SLDASM
|
194.09K |
| 110 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部/D20203-F000-6.SLDASM
|
213.02K |
| 111 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部/D20203-F000-7.SLDASM
|
229.74K |
| 112 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部/D20203-F01-(大臂框).SLDPRT
|
519.57K |
| 113 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部/D20203-F02-(小臂框).SLDPRT
|
348.52K |
| 114 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部/D20203-F03-(叉臂左).SLDPRT
|
274.98K |
| 115 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部/D20203-F04-(叉臂右）.SLDPRT
|
255.86K |
| 116 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部/D20203-F05-(叉臂杆）.SLDPRT
|
158.42K |
| 117 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部/D20203-F06-(大臂盖).SLDPRT
|
118.37K |
| 118 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部/D20203-F07-(小臂盖).SLDPRT
|
126.67K |
| 119 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部/D20203-F08-(叉左盖).SLDPRT
|
87.92K |
| 120 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部/D20203-F09-(叉右盖).SLDPRT
|
96.3K |
| 121 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部/D20203-F10-(涨紧座）.SLDPRT
|
124.65K |
| 122 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部/D20203-F11-(L20Z轮）.SLDPRT
|
328.27K |
| 123 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部/D20203-F12-(L16Z轮).SLDPRT
|
325.52K |
| 124 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部/D20203-F13-(L10Z轮).SLDPRT
|
217.73K |
| 125 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部/D20203-F14-(臂限位).SLDPRT
|
98.63K |
| 126 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部/D20203-F15-(轴垫圈).SLDPRT
|
78.41K |
| 127 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部/D20203-F16-(臂螺母).SLDPRT
|
137.86K |
| 128 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部/D20203-F17-(叉螺母).SLDPRT
|
156.08K |
| 129 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部/D20203-F18-(小臂轴).SLDPRT
|
168.05K |
| 130 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部/D20203-F19-(叉臂轴).SLDPRT
|
176.23K |
| 131 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部/D20203-F20-(叉臂固定环).SLDPRT
|
95.18K |
| 132 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部/D20203-F21-(真空头右).SLDPRT
|
95.23K |
| 133 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部/D20203-F22-(真空头左).SLDPRT
|
93.08K |
| 134 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C01-(边板左).bak
|
171.41K |
| 135 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C01-(边板左).DWG
|
171.42K |
| 136 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C02-(边板右).bak
|
169.18K |
| 137 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C02-(边板右).DWG
|
169.02K |
| 138 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C03-(底座板).bak
|
200.55K |
| 139 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C03-(底座板).DWG
|
200.55K |
| 140 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C04-(上顶板).bak
|
192.68K |
| 141 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C04-(上顶板).DWG
|
192.5K |
| 142 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C05-(升降柱).bak
|
196.16K |
| 143 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C05-(升降柱).DWG
|
196.17K |
| 144 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C06-(电机座).bak
|
200.8K |
| 145 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C06-(电机座).DWG
|
200.89K |
| 146 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C07-(推杆柱).bak
|
180.87K |
| 147 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C07-(推杆柱).DWG
|
180.87K |
| 148 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C08-(升降台).bak
|
216.76K |
| 149 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C08-(升降台).DWG
|
216.58K |
| 150 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C09-(滑块件).bak
|
166.11K |
| 151 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C09-(滑块件).DWG
|
165.93K |
| 152 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C10-(推杆盖).bak
|
169.41K |
| 153 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C10-(推杆盖).DWG
|
169.39K |
| 154 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C11-(电缸座).bak
|
160.75K |
| 155 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C11-(电缸座).DWG
|
160.57K |
| 156 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C12-(下挡块).bak
|
143.87K |
| 157 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C12-(下挡块).DWG
|
143.71K |
| 158 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C13-(上挡块）.bak
|
140.31K |
| 159 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C13-(上挡块）.DWG
|
140.15K |
| 160 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C14-(原点架).bak
|
144.51K |
| 161 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C14-(原点架).DWG
|
144.24K |
| 162 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C15-(固线板).bak
|
157.03K |
| 163 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C15-(固线板).DWG
|
156.87K |
| 164 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C16-(拖链架).bak
|
158.9K |
| 165 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C16-(拖链架).DWG
|
158.51K |
| 166 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C17-(原点片).bak
|
134.97K |
| 167 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C17-(原点片).DWG
|
134.58K |
| 168 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C18-(防尘圈).bak
|
162.32K |
| 169 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C18-(防尘圈).DWG
|
161.93K |
| 170 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C19-(限位块).bak
|
141.32K |
| 171 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C19-(限位块).DWG
|
138.73K |
| 172 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C20-(R-30X60型材).bak
|
138.83K |
| 173 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C20-(R-30X60型材).DWG
|
138.66K |
| 174 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C21-(外罩板).bak
|
138.33K |
| 175 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C21-(外罩板).DWG
|
138.33K |
| 176 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C22-(出线部外罩板).bak
|
140.73K |
| 177 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C22-(出线部外罩板).DWG
|
140.81K |
| 178 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C23-(上顶板法兰).bak
|
209.12K |
| 179 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD/D20203-C23-(上顶板法兰).DWG
|
208.27K |
| 180 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F01-(大臂框).bak
|
260.5K |
| 181 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F01-(大臂框).DWG
|
260.5K |
| 182 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F02-(小臂框).bak
|
226.43K |
| 183 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F02-(小臂框).DWG
|
226.43K |
| 184 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F03-(叉臂左).bak
|
190.44K |
| 185 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F03-(叉臂左).DWG
|
190.44K |
| 186 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F04-(叉臂右）.bak
|
193.5K |
| 187 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F04-(叉臂右）.DWG
|
193.5K |
| 188 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F05-(叉臂杆）.bak
|
188.58K |
| 189 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F05-(叉臂杆）.DWG
|
188.58K |
| 190 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F06-(大臂盖).bak
|
149.21K |
| 191 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F06-(大臂盖).DWG
|
149.34K |
| 192 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F07-(小臂盖).bak
|
151.86K |
| 193 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F07-(小臂盖).DWG
|
149.18K |
| 194 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F08-(叉左盖).bak
|
148.54K |
| 195 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F08-(叉左盖).DWG
|
145.94K |
| 196 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F09-(叉右盖).bak
|
147.52K |
| 197 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F09-(叉右盖).DWG
|
147.52K |
| 198 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F10-(涨紧座）.bak
|
146.57K |
| 199 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F10-(涨紧座）.DWG
|
146.57K |
| 200 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F11-(L20Z轮）.bak
|
187.02K |
| 201 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F11-(L20Z轮）.DWG
|
188.89K |
| 202 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F12-(L16Z轮).bak
|
183.13K |
| 203 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F12-(L16Z轮).DWG
|
183.13K |
| 204 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F13-(L10Z轮).bak
|
155.42K |
| 205 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F13-(L10Z轮).DWG
|
157.28K |
| 206 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F14-(臂限位).bak
|
139.15K |
| 207 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F14-(臂限位).DWG
|
137.37K |
| 208 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F15-(轴垫圈).bak
|
142.5K |
| 209 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F15-(轴垫圈).DWG
|
142.5K |
| 210 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F16-(臂螺母).bak
|
141.55K |
| 211 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F16-(臂螺母).DWG
|
141.55K |
| 212 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F17-(叉螺母).bak
|
145.9K |
| 213 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F17-(叉螺母).DWG
|
145.9K |
| 214 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F18-(小臂轴).bak
|
176.06K |
| 215 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F18-(小臂轴).DWG
|
176.06K |
| 216 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F19-(叉臂轴).bak
|
169.53K |
| 217 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F19-(叉臂轴).DWG
|
169.53K |
| 218 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F20-(叉臂固定环).bak
|
132.53K |
| 219 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F20-(叉臂固定环).DWG
|
132.53K |
| 220 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F21-(真空头右).bak
|
152.88K |
| 221 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F21-(真空头右).DWG
|
152.88K |
| 222 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F22-(真空头左).bak
|
150.05K |
| 223 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD/D20203-F22-(真空头左).DWG
|
148.49K |
| 224 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/T-CAD/D20203-T01-(L32Z轮).bak
|
193.1K |
| 225 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/T-CAD/D20203-T01-(L32Z轮).DWG
|
193.1K |
| 226 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/T-CAD/D20203-T02-(旋转盘).bak
|
240.66K |
| 227 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/T-CAD/D20203-T02-(旋转盘).DWG
|
240.95K |
| 228 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/T-CAD/D20203-T03-(转盘座).bak
|
199.75K |
| 229 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/T-CAD/D20203-T03-(转盘座).DWG
|
199.97K |
| 230 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/T-CAD/D20203-T04-(电机座).bak
|
160.71K |
| 231 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/T-CAD/D20203-T04-(电机座).DWG
|
160.71K |
| 232 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/T-CAD/D20203-T05-(限位块).bak
|
140.25K |
| 233 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/T-CAD/D20203-T05-(限位块).DWG
|
140.25K |
| 234 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/半导体设备图纸更多下载www.semimodel.com.pdf
|
290.75K |
| 235 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/CKD-AX6003MU_DM04-U0（基准05）
|
0B |
| 236 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/EE_SX772_Solidworks
|
0B |
| 237 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/EE_SX952_R_Solidworks
|
0B |
| 238 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/EE_SX953_R_Solidworks
|
0B |
| 239 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/HIWIN-导轨QWH27CA1R580ZOPII
|
0B |
| 240 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/NSK-MPS3030KN002（基准8）
|
0B |
| 241 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/SMC-伺服电缸LEYH32S3C400B000（185）
|
0B |
| 242 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/SMC-缓冲器RJ1007H0
|
0B |
| 243 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/松下压力传感器DP-0
|
0B |
| 244 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/米思米-拖链SKG310-20-015
|
0B |
| 245 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部/防水接头M20
|
0B |
| 246 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/robot夹持
|
0B |
| 247 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/升降座部
|
0B |
| 248 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/旋转台部
|
0B |
| 249 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/标准件部
|
0B |
| 250 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸/臂手组部
|
0B |
| 251 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/C-CAD
|
0B |
| 252 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/F-CAD
|
0B |
| 253 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸/T-CAD
|
0B |
| 254 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-3D档图纸
|
0B |
| 255 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM/D20203-CAD图纸
|
0B |
| 256 |
晶圆双臂机器人-3D和2D和BOM
|
0B |
