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光伏晶圆硅片切片机是把单 / 多晶硅棒切成超薄硅片(厚度约 130–180μm)的核心设备,当前主流为金刚线多线切割机,效率与良率远高于传统砂浆切割。是半导体前端材料加工设备!
切割方式:高速往复的金刚线(直径 30–60μm)形成线网,硅棒下压进给,同时喷洒切割液冷却、润滑与排屑。
线速度:最高可达45m/s(约 2700m/min),切割效率高。
硅片规格:主流182mm(G12)/210mm(M10),厚度 120–150μm(N 型更薄)。
关键指标:厚度均匀性 ±2μm、翘曲度≤10μm、TTV≤3μm、断线率≤0.1%。
主机床体:高刚性铸造 / 焊接结构,减震降噪,保证切割稳定。
走线系统:主辊 / 副辊、张力控制(精度 ±0.1N)、排线机构,实现高速稳定走线。
进给系统:伺服驱动,硅棒 / 工作台精准下压,速度60–120μm/min。
切割液系统:循环过滤,冷却润滑,常用PEG + 碳化硅或专用冷却液。
自动化系统:上下料、清洗、检测、数据采集与远程监控,适配智能工厂。
国产主流新机:120–180 万元 / 台
二手机(2–3 年):60–100 万元 / 台,性价比高,需检测精度与磨损。
| # | 文件名称 | 大小 |
|---|---|---|
| 1 | 1.6M | |
| 2 | 517.82K | |
| 3 | 1.1M | |
| 4 | 2.69M | |
| 5 | 670.85K | |
| 6 | 1.63M | |
| 7 | 12.72M | |
| 8 | 3.27M | |
| 9 | 3.89M | |
| 10 | 12.65M | |
| 11 | 353.79M | |
| 12 | 912.01K | |
| 13 | 0B |