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晶圆硅片切片机-线切
首页 >半导体设备图纸 >晶圆制造:光刻-显影-刻蚀-热处理 2026-04-27 报告错误错误问题可与客服联系,感谢您的支持![获取免费下载]分享好友可以免费下载哦!0
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图纸描述

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光伏晶圆硅片切片机是把单 / 多晶硅棒切成超薄硅片(厚度约 130–180μm)的核心设备,当前主流为金刚线多线切割机,效率与良率远高于传统砂浆切割。是半导体前端材料加工设备!

一、核心原理与工艺

  • 切割方式:高速往复的金刚线(直径 30–60μm)形成线网,硅棒下压进给,同时喷洒切割液冷却、润滑与排屑。

  • 线速度:最高可达45m/s(约 2700m/min),切割效率高。

  • 硅片规格:主流182mm(G12)/210mm(M10),厚度 120–150μm(N 型更薄)。

  • 关键指标厚度均匀性 ±2μm、翘曲度≤10μm、TTV≤3μm、断线率≤0.1%

二、设备结构(五大系统)

  1. 主机床体:高刚性铸造 / 焊接结构,减震降噪,保证切割稳定。

  2. 走线系统:主辊 / 副辊、张力控制(精度 ±0.1N)、排线机构,实现高速稳定走线。

  3. 进给系统:伺服驱动,硅棒 / 工作台精准下压,速度60–120μm/min

  4. 切割液系统:循环过滤,冷却润滑,常用PEG + 碳化硅或专用冷却液。

  5. 自动化系统:上下料、清洗、检测、数据采集与远程监控,适配智能工厂。

    三、价格参考(2026 年)

  6. 国产主流新机:120–180 万元 / 台

  7. 二手机(2–3 年):60–100 万元 / 台,性价比高,需检测精度与磨损


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图纸信息
图纸ID :102
文件大小:98.84M
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图纸参数:不可编辑,不包含特征参数
图纸格式:STEP
软件版本:2020
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用户XY0cKu
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1 软件图标9 晶圆硅片切片机/02 Carlo Zavattari, GlobalWafers.pdf 1.6M
2 软件图标9 晶圆硅片切片机/2011011311134300003.pdf 517.82K
3 软件图标9 晶圆硅片切片机/Automated_Process_Metrology_in_Solar_Cell_Manufacturing_2012.pdf 1.1M
4 软件图标9 晶圆硅片切片机/d41cf0e38e75bfafbe93cd0e9468c876_MIT2_627F13_lec10-11.pdf 2.69M
5 软件图标9 晶圆硅片切片机/ESIA-Report-Ingots-and-Wafers.pdf 670.85K
6 软件图标9 晶圆硅片切片机/lec25.pdf 1.63M
7 软件图标9 晶圆硅片切片机/PVCDROM-KOR.pdf 12.72M
8 软件图标9 晶圆硅片切片机/silicon_wafer_production_specification.pdf 3.27M
9 软件图标9 晶圆硅片切片机/光伏切片方案专家,开拓硅片代工市场-行业报告.pdf 3.89M
10 软件图标9 晶圆硅片切片机/光伏硅片切割技术:材料质量和锯切工艺对薄晶圆硅片的机械性能的影响研究技术.pdf 12.65M
11 软件图标9 晶圆硅片切片机/光伏硅片切片机=====1291387=====2000.STEP 353.79M
12 软件图标9 晶圆硅片切片机/硅片切割环节的投资机会 行业报告.pdf 912.01K
13 软件图标9 晶圆硅片切片机 0B